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差压传感器
型号:vr-55pt•tcd系列
概述:高耐压差压传感器
规格:精度±0.5%f.s. 量程±1～10kpa 耐压10mpa
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光电开关小型压力表
型号:jk50系列
概述:用于控制压力报警输出
规格:量程：-0.1～35mpa 显示精度：±2%f.s.
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通用型高纯气压力表
型号:gw11/16系列
概述:半导体行业用测量高纯气体压力表
规格:量程：-0.1～100mpa 精度：±1.5%f.s.
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小型高纯气压力表
型号:gw28系列
概述:半导体行业用测量高纯气体压力表
规格:量程：-0.1～25mpa 精度：±1.5%f.s.
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高纯气数字压力表
型号:zt60系列
概述:半导体行业用测量高纯气体用数字压力表
规格:量程：-0.1～20mpa 精度：±1%f.s.
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小型高纯气数字压力表
型号:zt67系列
概述:半导体行业用测量高纯气体用数字压力表
规格:量程：-0.1～20mpa 精度：±1%f.s.
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高纯气用压力开关
型号:cb14系列
概述:半导体行业用压力开关
规格:量程：-0.1～2.1mpa 精度：±1%f.s.
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小型高纯气压力传感器
型号:zt11系列
概述:半导体设备的超纯气体压力测量
规格:量程：0-20mpa 绝压：0-1mpa abs 精度：±0.25%或±0.5%f.s.
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半导体行业用压力传感器
型号:zt15系列
概述:半导体设备的超纯气体压力测量
规格:量程：0-20mpa 绝压：0-1mpa abs 精度：±1%或±0.5%f.s.
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本安防爆传感器
型号:kj96系列
概述:半导体设备的超纯气体压力测量
规格:量程：-0.1-20mpa 精度：±1%或±0.5%f.s.
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高精度电气比例阀
型号:apu系列
概述:高精度闭环反馈，快速响应，自动压力/流量控制器
规格:压力范围：-99～1000kpa 控制精度0.1%f.s.
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通用型调压阀
型号:xr56系列
概述:为半导体行业供给系统及设备专门开发制造的调压阀。
规格:一次压:2mpa 二次压:0.01-0.3mpa
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小型调压阀
型号:xr66系列
概述:为半导体行业开发的大流量小型调压阀。
规格:一次压:1mpa 二次压:0.05-0.7mpa
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